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[发明专利]一种解耦式双框架微陀螺-CN202010910335.2在审
发明人：丁希聪;凌方舟;蒋乐跃;刘尧;刘海东;苏云鹏 -专利权人：美新半导体（天津）有限公司
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明公开了一种解耦式双框架微陀螺，其包括：左驱动质量块组、右驱动质量块组、左哥氏质量块组和右哥氏质量块组，其均为一侧开口的半包围结构，且所述左驱动质量块组和右驱动质量块组的开口相对设置，所述左驱动质量块组和右驱动质量块组对称分布；所述左哥氏质量块组和右哥氏质量块组的开口相对设置；所述左哥氏质量块组和所述左驱动质量块组依次套设在左检测质量块的外围；所述右哥氏质量块组和所述右驱动质量块组依次套设在右检测质量块的外围。
一种解耦式双框架陀螺

[实用新型]一种解耦式双框架微陀螺-CN202021890715.6有效
发明人：丁希聪;凌方舟;蒋乐跃;刘尧;刘海东;苏云鹏 -专利权人：美新半导体（天津）有限公司
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种解耦式双框架微陀螺，其包括：左驱动质量块组、右驱动质量块组、左哥氏质量块组和右哥氏质量块组，其均为一侧开口的半包围结构，且所述左驱动质量块组和右驱动质量块组的开口相对设置，所述左驱动质量块组和右驱动质量块组对称分布；所述左哥氏质量块组和右哥氏质量块组的开口相对设置；所述左哥氏质量块组和所述左驱动质量块组依次套设在左检测质量块的外围；所述右哥氏质量块组和所述右驱动质量块组依次套设在右检测质量块的外围。
一种解耦式双框架陀螺

[发明专利]陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备-CN201310116379.8有效
发明人：古畑诚;田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2013-04-03 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01C19/5719 文献下载
摘要：陀螺传感器具备驱动质量块，其通过驱动部而在ｘ轴方向上被驱动；检测质量块，其与驱动质量块相连结；驱动用连结部，其一端被连结在驱动质量块上而另一端被固定在固定部上；岛部，其与固定部相连接，且与驱动质量块隔着间隙而配置，并与该驱动质量块电连接；突起，其被设置在驱动质量块的对置于岛部的面与岛部的对置于驱动质量块的面中的至少一个面上，驱动部包括可动电极部，其与驱动质量块相连接；固定电极部，其以与可动电极部对置的方式而设置，驱动质量块与岛部之间的最短距离大于驱动质量块的驱动振幅且小于可动电极部的最大振幅。
陀螺传感器使用电子设备

[发明专利]支持共振的机器-CN202180066235.9在审
发明人： P·A·卢肯;D·J·米歇尔斯;B·E·穆森;M·J·帕夫豪森;R·J·霍尔 -专利权人：卢肯工程有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B06B1/04 文献下载
摘要：本文提供的是支持共振的机器，其包括一个或多个安装在诸如壳体的非移动质量块上的音圈致动器、一个或多个移动质量块以及将非移动质量块联接到一个或多个移动质量块的一组或多组弹簧。一个或多个移动质量块可执行特定任务。例如，该移动质量块可驱动泵作为真空泵或压缩机。该移动质量块可驱动锤凿，例如，以破坏或断裂结构。该移动质量块可驱动装置来加固例如土壤。该移动质量块可冲击一个构件以将该构件驱动到另一构件中，例如将桩打入土壤。每个移动质量块可联接到音圈致动器，并且该机器是电‑机‑电变压器。
支持共振机器

[发明专利]一种MEMS陀螺仪-CN201610891762.4有效
发明人：李航;于连忠;胡宗达 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的质量块组；每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；驱动质量块设置在所述传动质量块中；传动质量块通过连接梁与检测质量块相连接；每组所述质量块组中的驱动质量块与锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉
质量块检测测量体驱动质量块上盖板下盖板传动陀螺仪锚点梳齿传感器领域对称设置驱动梳齿梳齿结构连接梁

[发明专利]一种微机电两轴陀螺仪-CN201710432994.8有效
发明人：邹波;郭梅寒 -专利权人：深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机电两轴陀螺仪，驱动结构包括驱动质量块和驱动电极，驱动质量块与驱动电极构成驱动电容；驱动电容用于驱动所述驱动质量块在一特定方向上做往复振动；每个检测结构包括检测质量块和检测电极，检测质量块与检测电极构成检测电容；检测电容用于检测驱动质量块上产生的科氏力带动检测质量块绕第一轴或第二轴运动而引起的电容变化。由于驱动质量块做往复振动的方向与检测质量块运动的方向即绕第一轴和第二轴运动的方向均不同，因此，在无角速度输入即无科氏力的情况下，驱动质量块不会带动检测质量块运动，从而可以实现驱动模态下驱动结构和检测结构的机械解耦
一种微机电两轴陀螺仪

[实用新型]一种MEMS陀螺仪及电子设备-CN202122573095.4有效
发明人：杨珊;占瞻;彭宏韬;马昭;阚枭;李杨;黎家健;洪燕;陈秋玉 -专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本实用新型提供一种MEMS陀螺仪，包括内部耦合梁、外部耦合梁、连接于内部耦合梁的外侧交替设置的驱动结构以及检测结构；驱动结构包括多个驱动质量块，检测结构包括多个检测质量块；驱动质量块和检测质量块的一端与内部耦合梁连接，驱动质量块和检测质量块的另一端通过外部耦合梁连接；其中，驱动结构还包括连接驱动质量块与外部锚点的第一解耦结构以及设置于第一解耦结构上的第一换能器，第一解耦结构配置于驱动质量块远离内部耦合梁的一侧，第一换能器激励驱动质量块振动本实用新型的MEMS陀螺仪能够充分提高第一换能器的布置面积从而实现小驱动电压下的更大振动振幅，进而提高灵敏度。
一种 mems 陀螺仪电子设备

[发明专利]三轴陀螺仪-CN202210539045.0有效
发明人：黄占喜;周宁宁;刘爽;曲鹏;黄克刚 -专利权人：绍兴圆方半导体有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本申请公开了一种三轴陀螺仪，包括衬底、第一X/Z轴检测质量块、第二X/Z轴检测质量块、第一驱动质量块和第二驱动质量块；Y轴检测质量块包括第一镂空部；第一驱动质量块、第一X/Z轴检测质量块、第二X/Z轴检测质量块和第二驱动质量块沿X向依次排列及弹性连接，并位于第一镂空部内；Y轴检测质量块在X向分别与第一驱动质量块、第二驱动质量块弹性连接；第一X/Z轴检测质量块和第二X/Z轴检测质量块沿Y向做方向相反的谐振运动，用于检测绕X轴和绕Z轴的角速度；Y轴检测质量块在XY平面内做往复旋转运动，用于检测绕Y轴的角速度。
陀螺仪

[发明专利]微机电陀螺及用于控制微机电陀螺的方法-CN201010242008.0有效
发明人： L·普兰迪;C·卡米纳达 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2010-06-03 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明公开了具有位置控制驱动的微机电陀螺及用于控制微机电陀螺的方法。该MEMS陀螺包括：微结构(2)，该微结构具有固定结构(6)、可以相对于该固定结构(6)以第一自由度按照驱动轴(X)运动的驱动质量块(7)、以及检测质量块(8)，所述检测质量块(8)与该驱动质量块(7)机械耦合，以便被带入按照该驱动轴(X)的运动，并且所述检测质量块(8)可以响应于该微结构(2)的旋转、相对于该驱动质量块(7)以第二自由度按照检测轴(Y)运动；以及驱动装置(3)，用于保持该驱动质量块(7)以驱动频率(ωD)进行振动。该驱动装置包括用于探测驱动质量块(7)相对于该驱动轴(X)的位置(x)的离散时间检测接口(20)；以及用于根据该驱动质量块(7)的位置(x)来控制该驱动频率(ωD)的控制装置(21，23，24，25)。
微机陀螺用于控制方法

[实用新型]一种Z轴MEMS音叉陀螺仪-CN201520111021.0有效
发明人：刘雪松;韦宇旻 -专利权人：水木智芯科技（北京）有限公司
申请日： 2015-02-15 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： G01C19/5607 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种Z轴MEMS音叉陀螺仪，包括基底及基底上的两个质量块，两个所述质量块的上下方向通过弹性梁连接有四个驱动质量块，两个所述质量块的左右方向通过弹性梁连接有四个检测质量块；驱动质量块之间设有杠杆连接器，相邻两个检测质量块之间设有折叠梁连接器；杠杆连接器中部可转动地连接有锚点，所述锚点固定于基底；驱动质量块上设有驱动电容组，检测质量块上设有检测电容组。本实用新型通过连接左右两边驱动质量块的杠杆连接器控制左右两边驱动质量块的位移协调一致，结构简单，成本低廉。
一种 mems 音叉陀螺仪

[发明专利]电容式加速度传感器及其控制方法、控制装置和电子设备-CN202010548147.X有效
发明人：曾志祥 -专利权人：维沃移动通信有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：电容式加速度传感器包括可移动的活动质量块、设置于活动质量块一侧的第一固定质量块和第一弹簧线圈，以及设置于活动质量块另一侧的第二固定质量块和第二弹簧线圈，第一弹簧线圈和第二弹簧线圈均与活动质量块固定连接；当活动质量块无法与第一固定质量块分离时，第二弹簧线圈通电，且驱动活动质量块与第一固定质量块分离；当活动质量块无法与第二固定质量块分离时，第二弹簧线圈通电，且驱动活动质量块与第二固定质量块分离。
电容加速度传感器及其控制方法装置电子设备

[发明专利]微电子机械系统陀螺仪-CN202310362154.4在审
发明人：裘进;杨云春 -专利权人：依迈微（北京）科技有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：陀螺仪包括：基底、质量块组、驱动组件和检测组件；质量块组包括四个驱动质量块、锚点结构、耦合弹性梁和多个Z轴检测质量块，四个驱动质量块以中心对称的方式通过锚点结构悬挂于基底上，且四个驱动质量块之间通过耦合弹性梁连接；每个驱动质量块上均设有Z轴检测质量块。其中，在驱动模态下，相邻两个驱动质量块的驱动模态反相，在X轴、Y轴和Z轴三轴的检测模态均能实现反相振动，因此，可以达到机械差分效果，有效减小外界振动和冲击等因素对陀螺性能的影响，提升抗振特性，从而提高陀螺仪的检测精度和稳定性
微电子机械系统陀螺仪

[发明专利]具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪-CN201710198481.5有效
发明人： D·普拉蒂;C·瓦尔扎希纳;T·基亚里洛;P·佛朗哥 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111‑114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121‑124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。
具有频率调节正交误差静电消除 mems 陀螺仪

[实用新型]MEMS陀螺仪及其电子系统-CN201720318605.4有效
发明人： D·普拉蒂;C·瓦尔扎希纳;T·基亚里洛;P·佛朗哥 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111‑114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121‑124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。
mems 陀螺仪及其电子系统

[发明专利]一种可实现干扰模态隔离的解耦型音叉硅微机械陀螺仪-CN202310293995.4在审
发明人：车录锋;陈邦亮 -专利权人：浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明提出了一种可实现干扰模态隔离的解耦型的音叉硅微机械陀螺仪，其包括基底、驱动质量块、检测质量块、耦合结构、转动框架、弹簧梁。驱动质量块和检测质量块由弹簧梁支撑悬浮在XY平面内，驱动模态下陀螺左右侧边的驱动质量块带动检测质量块分别沿Y轴方向反相振动；当有Z轴角速度输入时，左右侧边的检测质量块受科氏力作用分别沿X轴方向反相振动；转动框架实现驱动质量块间耦合，使驱动质量块在XY平面内振动，并限制其他方向上的位移；耦合结构可以抑制检测质量块的同相运动。
一种实现干扰隔离解耦型音叉微机陀螺仪

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